中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 761 HT #9265344 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 761 HTは、集積回路の製造のためのフォトリソグラフィに使用されるマスクアライナーです。この装置は、短波長の深紫色（DUV）レーザーと、多種多様な基板と柔軟なマスクを取り扱うように設計された6軸ガントリーを備えています。SVG 761 HTは、広範囲のサイズと視野にわたって高いアライメント精度と精度を提供し、高速で信頼性の高い実験を容易にするためにさまざまな自動機能を備えています。ASML 761HTは、多種多様な寸法で0。3ミクロンの最小フィーチャーサイズの集積回路の製造を可能にします。6軸ガントリーを備えており、マスクと基板を正確に揃えるために"X" "Y" "3角軸が使用されています。ASML 761 HTには、マスクと基板の両方を揃えるために使用される19ミクロンのスポットレーザーもあります。また、必要な機能サイズに応じて交換できるTTLリムーバブルレンズも搭載しています。4位置アライメントテーブルにより、基板とマスクの迅速かつ正確なセットアップが可能です。クローズドループサーボエレクトロニクスは、ガントリーに正確な制御とフィードバックを提供し、高精度で再現性のある移動を可能にします。さらに、SVG/PERKIN ELMER/ASML 761HTは、真空または空気中で使用することができ、セットアップと操作の間の柔軟性を可能にします。SVG 761HT機はLAM （Laser Alignment Marking）方式を採用しており、マスク金型の登録や基板の地形を決定します。LAMはライン・バイ・ラインのマスクによって書かれた露出の後で基質を示すレーザーの露出から成っている二次露出によって構成される。レーザーは、マスクがブロックされていない領域を露出し、従来の方法よりも正確なアライメントを提供します。761HTには、マクロ配置タスク用の高解像度ビジョンツールも含まれています。この資産は、精度と精度を確保するために、テレセントリック光学モデルと高感度CCDカメラ検出器を使用しています。装置は最大128の基準点を検出して整列することができ、高速で信頼性の高い実験が可能です。さらに、PERKIN ELMER 761HTには、いくつかの安全機能も含まれています。このシステムは、オペレータの安全のためのライトカーテンと、機械加工部品のほこりや破片を低減する自動洗浄ユニットを備えています。さらに、このマシンには、パフォーマンスを追跡し、問題のオペレータに警告するための自動実行診断機能が含まれています。761 HTは、高精度と高精度を必要とするフォトリソグラフィ用途に最適なツールです。これは、高速かつ信頼性の高い実験を容易にするための機能と機能の広い範囲を提供しています。