中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 741 #9194496 を販売中
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SVGASVG/PERKIN ELMER/ASML 741マスクアライナーは、シリコンウェーハなどの基板にさまざまな複雑なパターンを刻印するために設計および製造された洗練されたデバイスです。これは、集積回路やMEMSデバイスなどの高度なデバイスを製造するために、マイクロエレクトロニクス業界で一般的に使用されています。SVGASVG 741マスクアライナーは、フレーム、精密テーブル、光源、およびイメージングユニットで構成されています。フレームは、機器のさまざまなコンポーネントを所定の位置に保持するように設計された精密部品で作られており、熱膨張と収縮を可能にするベローズと統合されたエアテーブルが含まれています。精密テーブルは、基板とマスキング層を支えるフレキシブルベースの位置決めシステムで、インプリント工程中に2つを正確に整列させるために使用されます。光源は、特定のパターンを転送するために必要に応じて、マスキング層に光を供給するために使用されます。最後に、イメージングユニットは、マスキング層と基板を分析するように設計されており、2つのコンポーネントにパターンを登録するための光学イメージング技術を使用しています。SVGAASML 741マスクアライナーは、自動化された制御ユニットを使用して、精度と再現性を確保します。マシンは、任意の特定のアプリケーションに適したパラメータの設定を可能にするコンピュータによって動作します。また、さまざまなユーザーの特定の要件に対応するために、外部コントローラとインタフェースすることもできます。精密テーブルと光源の両方に非常に正確なフィードバックシステムが装備されており、マスキング層と基板を非常に高い精度に整列させるために調整することができ、高い複雑性のパターンの転送を可能にします。conlcusionでは、SVGAPERKIN ELMER 741マスクアライナーは、さまざまなアプリケーションの要求を満たすことができる信頼性の高い汎用性の高いツールです。高度なオートメーション、精度、制御を利用して、高度なマイクロエレクトロニクス部品の生産において一貫した品質の結果を得ることができます。
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