中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 700 #9122817 を販売中
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ID: 9122817
ウェーハサイズ: 4"
Mask aligners, 4"
Wafer type: Semi flat
Cassette type: Fluoroware
Version dash-003
Auto fine alignment (AFA)
Automatic variable magnification (AVM)
Auto uniformity slit
Helium management system(HMS)
AIM System
Motorized carousel arm with enhanced control option
Pick and place wafer transport system (PAL)
Mini mag strong shell
Currently warehoused.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 700のようなマスクアライナーは、集積回路(IC)の製造に使用される機器の一種です。SVG 700は、光プロジェクションを使用して基板表面にパターンを整列および転送するために使用されます。ステップモードとリピートモードで動作し、シリコン基板にエッチングされたパターンを含むフォトマスクの複数のコピーを生成し、転送されるパターンの精度を測定します。ASML 700は、シングルプロジェクションレンズとステンレススチールマスクテーブルとサーボ機構を備えた2位置装置です。このシステムには、ポジショニングとマスク交換機能、数値制御(NC)ユニット、およびテーブルモーション機構を可能にする大型のエンクローズドチャンバーが含まれています。これらの部品を使用すると、700はマスクテーブルを移動および調整することができ、正確なアライメントとパターン転送を可能にします。このアライメントは高解像度ICの製造に不可欠であり、PERKIN ELMER 700は高精度で信頼されています。SVG/PERKIN ELMER/ASML 700は、インテリジェンス、汎用性、および精度で設計されています。コンピュータに接続することができ、データのキャプチャと操作が簡単になり、精度と一貫性を確保できます。このマシンは最新の技術で設計されており、高速サイクルタイムを可能にし、モーションコントロールエラーを最小限に抑えます。SVG 700は精度に優れ、0。25ミクロンの解像度で高解像度のパターン転送が可能です。ASML 700は使いやすく、ユーザーの利便性を考慮して構築された信頼性の高いマスクアライナーです。直感的なユーザーインターフェイスにより、簡単なプログラミング、調整、トラブルシューティング操作が可能です。機械は非常にカスタマイズ可能で、速く、容易なカスタマイズを可能にします。そのモジュラー設計は容易な改善を可能にし、所有権の低コストを提供します。700マスクアライナーを使用すると、集積回路技術の製造中に最適な精度と効率が期待できます。
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