中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 664 HT #9165930 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 664 HTマスクアライナーは、微細加工プロセスに使用される最先端のアライメントツールです。材料のサブミクロンパターニングのためのフォトリソグラフィ（マスクアライメント）と電子ビームリソグラフィ（パターニング）を組み合わせたハイブリッドリソグラフィ装置です。SVG 664 HTマスクアライナーは、X-Y変換ステージと2つの回転ステージを使用して、パターン化されたマスクを基板と微調整する半自動テーブルトップシステムです。単位の逆の顕微鏡はユーザーが視覚的に直線およびパターン位置を確認することを可能にします。ASML 664 HTマスクアライナーを使用する場合、± 90°で4 µm以上のアライメント精度と3°の角度精度が典型的です。機械は3つの列の整理が付いている別の電子ビームパターニングセクションを含んでいます。電子ビームライティングコラムは、制御モジュール、マイクロチャネル板検出器、プロジェクションレンズ、XYアライメントステージで構成されています。別の作業距離制御モジュールを使用すると、サンプルとマスクの垂直位置を調整できます。Eビームカラムは、電子ビームリソグラフィ、レジストライティング、パターン修復などのアプリケーションに使用できます。このツールは、スリットのサイズとスポットサイズを変えるためのスリット光源ユニットを備えた光源を備えています。それは伝達および反射モードのクロムマスクのような一般的に使用されるマスクの使用のために適しています。統合された設計により、精密パターニングのための迅速かつ効率的なマスクアライメントが可能になります。パターンマスクは、デジタルイメージ投影アセットで664 HTに読み込むことができます。ユーザーはモデルにマスクの画像を読み込むことができ、マスクは自動的に配置されます。適切に整列したら、マスクは反射防止コーティングで密封することができます。PERKIN ELMER 664 HTは、自動マスク選択、フォーカススキャン、アライメント最適化などの高度なオートメーション機能も提供します。この装置は、非常に高解像度の結果で高速かつ正確なパターニングを可能にします。SVG/PERKIN ELMER/ASML 664 HTは、多くの高度なリソグラフィ用途に精密なプラットフォームを提供する汎用性と信頼性の高いマスクアライナーおよびリソグラフィーシステムです。幅広い機能と操作が簡単なSVG 664 HTは、ハイテク研究所や製造施設に最適です。