中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9107715 を販売中

SVG / PERKIN ELMER / ASML 661
ID: 9107715
ウェーハサイズ: 6"
Mask aligner, 6".
SVG/PERKIN ELMER/ASML 661マスクアライナーは、薄膜層のパターンを高精度に調整するためのツールです。主に半導体産業のフォトリソグラフィープロセスに使用されています。SVG 661は、高解像度ステッピングモータと工具位置決めシステムを内蔵しており、サブミクロンレベルまでの正確なパターンアライメントが可能です。ASML 661は堅牢なフレームと安定したベースを備えているため、パターンをフィルムに正確にアライメントすることができます。任意のレベルのパターン周波数に達する能力を持つ661は、高レベルのナノファブリケーションに適しています。再現性の高いPERKIN ELMER 661は、1枚のフィルムに複数のパターンを作成するのにも適しています。SVG/PERKIN ELMER/ASML 661は、光学ファインダーを使用してパターンを揃えます。翻訳ステージが内蔵されているため、パターン全体を正確かつ再現可能に移動できます。マスクアライナーは、深度調整用のZ軸も備えています。ステージは、必要に応じて非常に低いプロファイルのレベルに達するように正確に構成することができます。さらに、SVG 661はエッジシーリングシステムを備えており、フィルムと基板の間の密閉性を確保し、強固な接着結合を提供します。ASML 661にはモジュール式の低メンテナンス設計が採用されているため、ダウンタイムを最小限に抑えて使いやすいです。また、地上障害遮断器(GFI)や緊急オフスイッチなどの機能を備えた安全性を考慮して設計されています。また、操作中の検査に最適な高感度光学システムを搭載しています。全体として、SVGマスクアライナー661は、半導体業界の精密で再現性のあるアライメントプロセスに最適な汎用性の高いアライメントツールです。その特徴は、精密なナノ加工パターンを作成するのに理想的であり、モジュール設計により、信頼性が高く使いやすいです。さらに、その安全機能は、デバイスを操作する際の保護を保証します。そのため、ASMLマスクアライナーPERKIN ELMER 661は、さまざまなアプリケーションに最適なツールです。
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