中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9003993 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661は、リソグラフィを行うために使用されるマスクアライナーです。これは、さまざまなリソグラフィ作業に使用できる正確で効率的で費用対効果の高いデバイスであるように設計されています。SVG 661マスクアライナーは、精度と精度を提供しながら、デバイスを小さく、コンパクトにする線形ステージ設計を備えています。3次元（3D）アライメントでは+/-1。0 nm、 2次元（2D）アライメントでは+/-0。5 nmの誤差で最大5,000 nmのサイズに達することができます。また、エアベアリングを使用せずにステージの位置を調整できるため、ステージを調整しても高い精度を維持できます。ASML 661は、940 nmのダイオードレーザーを使用する高度な光源装置を備えており、最大100mmのサイズのウェーハを露出するために使用することができます。それにまた顧客の要求に従ってカスタマイズすることができる制御システムがあります。例えば、単位は正確さを犠牲にしないで効率を最大にするために専有アルゴリズムとプログラムすることができます。このデバイスには、ウェーハ上のマスクを簡単に検出してイメージすることができる完全自動アライメントマシンもあります。また、オプションのオンウェーハアライメントを採用しているため、ステージを手動で回転させることなく、マイクロメートルとナノメートルのレベル調整を行うことができます。最後に、661マスクアライナーには汚染モニターも装備されており、ツールがほこりや破片で汚染されている場合はユーザーに警告します。この機能は、デバイスがきれいなままであることを確認し、高品質の結果を提供するのに役立ちます。PERKIN ELMER 661マスクアライナーは、速度、精度、効率を向上させる先進的なデバイスです。さまざまなリソグラフィ作業に使用でき、その高度な機能により、より高い精度の結果が得られます。