中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #9165927 を販売中
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HTは、半導体の製造に使用される高度グレードのマスクアライナーです。リソグラフィープロセスに使用される重要なツールであり、シリコン、ガラス、石英など、さまざまな基板上で高品質で正確な画像を生成することができます。SVG 661 HTは、高速で精密な動作装置により、優れた性能と精度を提供する業界標準のツールです。オプションレーザー干渉計やビームアライナーと同様に、光学ステージと真空ウェーハステージの両方を交換可能なモジュラー設計を備えています。このマスクアライナーは、必要に応じてさまざまなレンズ、ディフューザー、その他のコンポーネントを使用して拡張することもできます。アライナーはまた、露光時間の迅速な調整と高解像度の画像取得を可能にする堅牢な制御システムを備えています。また、正確なオーバーレイ精度を提供する高速デュアルビームクロスヘアアライメントユニットを装備しています。このマシンには、サンプルをリアルタイムで表示するために使用できる内蔵のカメラも付属しています。ASML 661 HTは、イメージング基板に加えて、集積回路（IC）、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、およびその他のミクロンレベル部品の製造など、より深いレベルのアプリケーション向けに処理することもできます。また、高速自動ウェーハハンドリングアセットを備えているため、ダウンタイムを最小限に抑えてウェーハをプロセスチャンバとの間で輸送することができます。さらに、このマスクアライナーは、防塵と防水の両方である堅牢で耐久性のあるシャーシで構成されています。アクティブな振動制御モデルを備えており、機器の移動によるイメージングプロセスの潜在的な中断を排除します。PERKIN ELMER 661 HTはまた全面的な空気質を改善し、機械の生命を延長する作り付けの粒子フィルターと来ます。全体として、661 HTは、パフォーマンス、信頼性、柔軟性の優れた組み合わせを提供する高度なマスクアライナーです。高速・高精度動作装置、堅牢な制御システム、自動化されたウェーハハンドリングユニットにより、半導体の製造に不可欠なツールです。
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