中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293811482 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HTマスクアライナーは、高度なフォトリソグラフィーマスクの製造用に設計されたフル機能のツールです。このマスクアライナーは、強力なSVGソフトウェアスイートと最先端のコンポーネントを組み合わせ、幅広いアプリケーションで優れた結果を提供します。この機器には、2048 x 2048解像度のモニターと、パターニングステップの信頼性の高いアライメントを提供する高度なオートメーションシステムが装備されています。さらに、パワフルな光学ユニットが搭載されており、比類のない精度で絞りフィルムへのパターン転送が可能です。最適な結果を得るために、SVG 661 HTマスクアライナーは、顔面露出ごとにフォトマスクを正確に配置できる高解像度の光学アライメントマシンを備えています。これにより、最小限の軸外移動と高い平坦性が保証され、最終的にパターン転送を成功させるために不可欠です。このツールには高分解能の圧力測定アセットも含まれています。位置決め精度の面では、ASML 661 HTマスクアライナーは非常に厳しい許容誤差を達成することができます。0。0005mm/100 μ mのXY再現性と0。7nm/100 μ mのZ軸の再現性を提供します。これに加えて、モデルは、既存のプロセスステップとルーチンタスクとの効率的な統合を可能にするさまざまなエッジのターゲティングとフォーカス機能を提供します。さらに、XYシフトやホールアライメントなどの機能により、パターン転送の複雑さが増します。661 HTマスクアライナーは、その信頼性の高い結果で有名ですが、これはその高度なコンポーネントのおかげでのみ可能です。この装置には、最先端のチップ技術が搭載されており、プロセスの再現性を最大限に高めています。さらに、ポリウレタンゴムの厚い層を使用するマスクアライナーは、振動を大幅に低減し、画像の鮮明性を向上させます。結論として、PERKIN ELMER 661 HTマスクアライナーは、フォトリソグラフィーマスクの生産のための究極のオプションです。高度な光学アライメント、高分解能圧力測定、および厳しい公差機能により、幅広いタスクで最適な結果が得られます。さらに、システムは最先端のチップ技術と堅牢なコンポーネントによって駆動され、最高の信頼性を提供します。