中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293765674 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HTは、ICリソグラフィ用途向けに設計された高精度マスクアライナーです。この高度なマスクアライナーは、1。2 μ mの精度で高度なアライメントアーキテクチャを備えています。SVG 661 HTは、最小スポットサイズが12 μ mの超高解像度光学装置も備えています。さらに、ASML 661 HTは、4xビニング、defocus制御、複数の照明システムなど、幅広いイメージング機能を備えています。これらのイメージング機能により、半導体処理におけるICマスクの迅速かつ正確なアライメントが可能になります。661 HTは、正確で再現性の高いアラインメントを保証する4点の高精度な統合設計を採用しています。この設計には、オートフォーカスとマルチレベルスキャンとステッチ機能も含まれており、マスクのアライメントプロセスを自動化するのに役立ちます。PERKIN ELMER 661 HTは、バイナリゼーション、コントラスト強化、エッジ研磨などの強力な画像処理機能も備えています。これらの機能により、画質とアライメント精度をさらに最適化できます。SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HTには、高速かつ低ドリフトSSMB（スキャニングステージムーブメントブロック）メカニカルステージが装備されており、正確な基板アライメントが可能です。このステージはブラシレスモーターで駆動され、最大ステップ分解能は0。1 μ mです。SVG 661 HTはまた、可変レーザー出力電力と調整可能なレーザーパラメータを備えた高出力の照明ユニットを備えています。この機械はユーザーが露出時間を減らし、基質の露出の均等性を高めることを可能にします。ASML 661 HTの汎用性をさらに高めるために、このツールにはオプションのicontrolソフトウェアパッケージが装備されています。このプログラムは、661 HTの機能とその多くのアライメント機能を制御することができます。icontrolソフトウェアはまた、アライメントとイメージングのためのグラフィカルツールを提供します。PERKIN ELMER 661 HTの優れた機能とその優れた精度と機能は、高度なICリソグラフィ用途に最適なツールです。