中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9259118 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT Mask Alignerは、マスク製造およびアセンブリの光アライメントリソグラフィに使用される高度なラピッドプロトタイピングツールです。マスクアライナーは、フォトレジスタ、薄膜トランジスタ（TFT）アレイ、コンデンサなどの薄膜デバイスを修正するために、製造レベルの半導体や関連産業で使用されるスキャンタイプダイレクトライティングツールです。SVG 651HTはサブミクロン処理用に設計されており、平面化/幾何学的アライメントとアライメントドリフトと反り補正の両方を正確に実行できます。ASML 651 HTマスクアライナーは、4つの主要なサブシステムで構成されています。光学機器、スキャンシステム、アライメントユニットおよび投影/リソグラフィ機械。光学ツールは、絶妙なズーム対物レンズ（0。150mmから0。34mmまでの焦点）と高精度スキャンと投影のための4つのモーター付きミラーのセットで構成されています。スキャンアセットは、ピエゾステッピングミラーと3次元アライメント用のロータリーミラーに基づいており、必要なサイズの画像フィールドに最大90°の偏向角度を提供します。アライメントモデルは、手動調整による高精度なオートセンタリングステージと、高速かつ正確なアライメントのためのステッピングモーターを採用しています。SVG/PERKIN ELMER/ASML 651 HTの投影/リソグラフィ装置は、700nm〜830nmの照明用に設計されたアクティブイルミネータと、光強度とその均質性を維持する減衰器/滑らかなもので構成されています。マイクロリソグラフィーシステムは、最大350ミクロンの角度アライメントとフィールド角度も可能です。サイズはコンパクトで、80x80cmのスペースしかありません。ASML 651HTはインストールが簡単で、自動化のためのさまざまなプロセス環境に接続することができます。このツールには独自の内蔵PCが付属しており、プロジェクター/マスクアライナーを制御するためのWindowsベースのソフトウェアを実行します。その包括的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、ツールのセットアップと操作を簡単にします。651HTは、マルチフィールドオクタゴンスキャン、バックドロー長、高速アライメントルーチン、プロセス最適化、自動ビーム位置補正など、さまざまな高度な機能を備えています。結論として、SVG 651 HT Mask Alignerは、その精密かつ正確な性能のために、マスク製造と組み立ての光アライメントリソグラフィのための模範的なツールです。操作が簡単で使いやすい先進的な機能により、研究および生産レベルの半導体の両方に適しています。