中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9165928 を販売中
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HTは、集積回路を製造し、接触する部品に組み込むために使用されるマスクアライナーです。これは、特殊なコンピュータチップやその他の半導体製品を製造するための重要なツールであり、マスクから基板にリソグラフィパターンを転送するために使用されます。SVG 651HTは、複数の画像取得、ウェーハスキャン、プロセス制御システムを組み合わせて、パターン化されたレジストをウェーハ上に正確に配置します。これは、ユーザーのニーズに基づいていくつかの構成で利用可能である高度な、ハイエンドマスクアライナーを提供しています。ASML 651 HTは、最新のイメージングおよびパターニング技術を利用しています。光学および電子ビームパターニングが可能で、高いスループット接触と近接印刷に使用できます。ASML 651HTは、再現性と精度のための2つの正確なウェーハステージを提供し、ウェーハ上の非常に正確なアライメントを持つレイヤーを印刷するために使用することができます。その精度は、複雑な3次元製品の製造にも役立ちます。SVG 651 HTには、真空負荷およびアンロードステーション、電動オプトメカニカルステージおよびエアベアリングステージ、アダプティブフォーカス装置、スキャンカメラ、電子ビームリソグラフィーツール、コンベアベルト、およびさまざまなサポートシステムがあります。すべてのコンポーネントは特別に設計された環境内に囲まれています。PERKIN ELMER 651HTには、パターン作成、整列、イメージング、印刷のための自動制御システムと厳格なソフトウェアアルゴリズムが装備されています。ソフトウェアは、設計者がマシンの機能を最大限に活用するためにマスクレイアウトと位置をプログラミングすることができます。また、CADパターンのインポート、精度向上のための分子ビームポンプ、デジタル制御パターン回転など、さまざまな機能を提供します。651 HTは、非常に信頼性の高い製造およびプロセス制御と半導体生産の厳格さを考慮して設計されています。また、ナノテクノロジーのアプリケーションに非常に高解像度のイメージング機能を提供します。予防メンテナンス機能を備え、ユニット寿命を延ばし、予定外のメンテナンス要件を低減します。マシンはまた、完全なユーザーコンプライアンスのために設計されており、マスキングプロセス全体の完全なトレーサビリティを提供します。SVFPERKIN ELMER 651 HTは、高性能マスクアライナーで、リソグラフィ機器で利用可能な最高レベルの精度を提供します。堅牢な設計と自動化された制御システムにより、651HTは優れた歩留まりを持つ非常に複雑な部品を製造するために使用できます。
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