中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 642 HT #9358411 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HTマスクアライナーは、マイクロエレクトロニクス回路およびコンポーネントのフォトリソグラフィ用に設計されたハイスループットマスクアライナーです。この最先端のデバイスは、完全に自動化された精密なアライメント装置、6インチx 4インチの基板サイズ、および0。3 μ mのマイクロステッパーのオートフォーカス動作機能を備えています。これにより、高度な機械的、電気的、熱的、光学的特性を持つ次世代のマイクロエレクトロニクスデバイスの開発と製造に最適です。SVG 642 HTマスクアライナーは、X軸とY軸の両方で幅広いマイクロステップ動作を提供し、アライメント精度と再現性を向上させる高精度のXYテーブルを備えています。ステッピングモータ駆動システムを搭載したASML 642 HTは、高速基板スキャンのために最大600m/minのマイクロ移動が可能であり、2段オートフォーカス、ファインアライメントユニットは最大0。3 μ mまでのアライメント精度を保証します。8ビットグレースケールドライブと12。7 μ mピッチアルミマスキングを組み合わせることで、Si、 SiO2、 SiO2/Si、 Ge層など幅広い基板を加工できます。PERKIN ELMER 642 HTマスクアライナーは、強力なマルチゾーン真空チャックツールを備えており、基板の適切なクランプを保証し、基板表面に熱および化学残留物の蓄積を防ぎます。高度なガスフローコントローラにより、レジスト処理のための様々なコンディショニング体制を実現することができます。642 HTマスクアライナーは、信頼性と安定した動作のための高度なモデルコントローラが装備されています。モジュール式の設計により、便利なユーザプログラミングが可能で、幅広いユーザー定義プロセスに適しています。直感的なユーザーインターフェイスは、リモートデータ収集とリモートプログラミングのサポートを向上させ、簡単で安全な操作を実現するように設計されています。全体として、SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HTマスクアライナーは、マイクロエレクトロニクス開発者やメーカーの要求に応えるように設計された精密アライメントと基板スキャンおよび処理のための高度なツールです。SVG 642 HTは、高いスループットモータ駆動、精密アライメント装置、ファインアライメント機能、ガスフロー制御を備え、あらゆるマイクロエレクトロニクス開発や製造プロジェクトに最適です。