中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 642 HT #293645522 を販売中
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HTは、ミクロンおよびサブミクロンのスケール機能の測定および調整に使用されるマスクアライナーまたは光学リソグラフィーツールです。信頼性と人気の高いSVG 641 HTの最新バージョンで、最大200mmまでのウエハサイズの処理に最適化されています。SVG 642 HTは、エキシマレーザー、LasertecTMプログラマブルステッパー、および低温液晶フォトマスクを内蔵した独自のアライメント装置を使用しています。レーザーは、マスクのアライメント領域に焦点を当てた高解像度の均一なレーザービームを放出します。プログラマブルステッパーは、ウェーハをx方向とy方向に正確に配置することで、ウェーハに対してマスク上のパターンをよりよく配置することができます。高度なアライメントシステムに加えて、ASML 642 HTは、精度と解像度を向上させる低温液晶フォトマスクなど、他の最先端の技術も備えています。これにより、通常の光学フォトマスクよりも大きなフィーチャーサイズが可能になり、自己整列した接触穴などの複雑な構造を形成することができます。642 HTはまた、ユーザーがリソグラフィープロセス中にレーザーのパワーを微調整することを可能にするユニークで可変的なパワーオプティックユニットを備えています。この機械は高い柔軟性を提供し、望ましい光学特性を達成することを可能にします。さらに、PERKIN ELMER 642 HTは多目的モジュラー設計を採用しており、さまざまなリソグラフィ用途に対応した汎用性の高いツールとなっています。マスキング用の基本的なフォトリソグラフィから、プリボンドやハイブリッド構造などの複雑なプロセスまで、SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HTはあらゆるユーザーに包括的なソリューションを提供します。SVG 642 HTは、最大6000wphの高速処理速度と最大200mmの大面積の能力を備えています。これにより、大量生産ニーズに最適です。堅牢な設計、信頼性の高いパフォーマンス、手頃な価格で、幅広い生産アプリケーションで正確かつ正確な結果を必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。
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