中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 641 HT #9198310 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 641 HTは、高精度フォトマスクの製造用に設計されたマスクアライナーです。既存のSVG 641シリーズの露光システムの拡張として開発されたSVG 641 HTは、要求の厳しいエレクトロニクス製造サービス（EMS）、フォトニックおよび半導体精密マスク製造アプリケーション向けに特別に設計されています。ASML 641 HTマスクアライナーは、統合されたテスター、プリアラインデルタベクトル測定機能、ターンテーブルキャリブレーション、オートレベリングアライメントテーブル、および500ワットレーザー照明器を備えており、最大6インチのサイズのフォトマスクの配置とアライメントの精度に優れています。包括的な精密マスク製造パッケージの一環として、641のHTバージョンには信頼性の高い正確な露出装置が供給されています。マスクアライナーは、線量、速度、焦点などの露出パラメータを微調整することができ、複雑な多次元精度フォトマスクの製造のためにマッピングまたはウェーハのフォトマスクアライメントへの半自動および/または手動プログラミングを可能にします。ASML 641シリーズのHTバージョンは、高信頼性、高効率、再現性の高いアライメントシステムにより、精密マスク製造を新たなレベルに引き上げます。このユニットには、マスクステージを最大30ミリ秒まで素早く移動できるリニアモータードライブなど、高度な技術と高精度なアライメントを可能にする機能が含まれ±います。これらのモーターは、非線形移動後に自動的に自動的に校正することもできます。このツールは、9軸のプレアラインおよびポストアラインフィードバックループとXYフィールドモニタリングアセットを備えており、振動を最小限に抑え、サーマルドリフトを低減し、常にアライメントの精度を保証します。HTモデルには、レチクルとウェーハアライメントの両方に対応する完全に統合されたレチクルおよびテープ処理機能も含まれています。このモデルは、最大4つの異なるグリッドのエッジ登録を使用してマルチグリッドレチクルに対応でき、最先端のフォトマスクの製造に使用される最も複雑なレチクルに対応できます。また、マスクからウェーハマッチングまで、大容量テープフィーダの加工も可能です。PERKIN ELMER 641 HTは、最も要求の厳しいフォトマスク製造ニーズのために設計された汎用性、高度、ユーザーフレンドリー、および非常に正確なマスクアライナーです。高度な技術と機能を備えたHTモデルは、EMS、フォトニクス、半導体産業の要求に応えるために、非常に短い納期で最高精度のフォトマスクを製造することができます。