中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 641 HT #9194296 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 641 HTは、リソグラフィおよびマスクアライナー操作で一般的に使用される高スループットスキャン電子ビーム露出ステッパーです。この自動化された装置は、同じ基板上の繰り返し露出中にマスク上のパターンの正確なアライメントを可能にするステップとリピートアルゴリズムを採用しています。SVG 641 HTは、XY線形ステージ、X軸ロータリーステージ、ビームデフレクタからなる高解像度パターンジェネレータを備えています。XYリニアステージは高速サーボモータによって駆動され、高精度パターンアライメントに加えて高スループットを実現します。X軸ロータリーステージは、XY平面のパターン方向を変更するために使用され、さまざまなアラインメントを持つターゲットを収容することができます。ビームデフレクターは、基板上に配置された電子ビームの焦点を電子的に調整するように設計されており、より正確なパターン位置決めと高解像度画像を可能にします。ASML 641 HTは、基板上の正確なパターンアライメントを可能にする精密なレーザー干渉計システムを備えています。このユニットは、基板上のパターンの正確な配置を決定するために、マスクアライナーがレーザービーム点とスキャン電子ビーム露出面の間の相対距離を測定することを可能にする3つのビームで構成されています。PERKIN ELMER 641 HTはまた、基板上のパターンの正確かつ再現性の高いアライメントを可能にする高精度のスキャンオプティクスを備えています。このマシンは、2つの垂直軸で電子ビームをスキャンするように構成された2つのガルバノメータスキャナを使用しています。これらのスキャナは表面を横切って同期して動作し、ツールによって収集されたデータを正確に制御できます。さらに、641 HTには、資産の自動運用を可能にするオンボードコントローラが含まれています。このコントローラは、ビーム偏向位置、露光時間、電圧および電流などのさまざまなモデルパラメータを電子制御することができます。コントローラはまた、パターンプログラミングと機器のリアルタイム制御を可能にし、実験室の状況の変化に迅速に対応するために使用することができます。結論として、SVG/PERKIN ELMER/ASML 641 HTは、リソグラフィおよびマスクアライナー操作に使用される高スループットスキャン電子ビーム露出ステッパーです。この自動化システムは、同じ基板上の繰り返し露出中にマスク上のパターンを正確に整列させることを可能にするステップと繰り返しアルゴリズムを採用しています。精密レーザー干渉計ユニット、高精度スキャンオプティクス、機械の自動運転を可能にするオンボードコントローラなど、さまざまな機能を内蔵しています。SVG 641 HTは、リソグラフィとマスクアライナー作業に最適です。