中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 554 HT #9358414 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 554 HTは、光学マイクロアセンブリ用に設計された最先端のマスクアライナーです。アライメント装置は、レーザー干渉計とデジタルイメージング技術を組み合わせて、基板上にフォトマスクを正確に配置します。フォトマスクは、角度方向を制御するリニアモータと、0。01ミクロンの再現性を持つ高精度XYステージによって配置されます。また、リニアモータを同期させることで、両面フォトマスク露出時に正確なオーバーレイアライメントを行うことができます。このシステムは、フォトマスクと基板の寸法差を調整するオーバーレイアライメント補正も可能です。SVG 554 HTの露光光学は、1組のレーザーイルミネータと調整可能なケーラー照明ユニットで構成されています。低歪みの光学ツールを採用しており、開口数は0。40、フィールドサイズは4。8mmまでとなっています。レーザー照明器はレーザー力の36mW/cmまでピーク電力レベルのために設計され、Koehlerレンズは範囲の作動距離に調節可能です。さらに、露光光学系には、大判ウェーハを撮影するためのオプションのレチクル照明装置が含まれています。ASML 554 HTは直径4インチまでの基板加工が可能で、真空チャックまたは手動クランプで取り付けることができます。この資産には、オペレータの安全を確保するための物理的なインターロックや安全カバーなど、多くの安全機能が含まれています。この最先端のマスクアライナーの特徴は、高精度、高速位置決め、高スループットプロセス制御です。高精度な光学系と高精度のモーションコントロールシステムにより、3Dウェハアセンブリ、フリップチップボンダアライメント、LCD露出および露出計測などのフォトマスクアライメントやオーバーレイに最適です。