中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 551 HT #9377427 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 551 HTマスクアライナーは、半導体およびナノテクノロジーの製造プロセスで使用されるツールです。フォトリソグラフィと精密アライメントの組み合わせを利用して、基板上の回路や機能のエッチングを可能にします。このマシンは、1µm未満のアライメント精度を提供することができ、直径5"から8"までの基板サイズと最大12"までのチップサイズを扱うことができます。その中心には、マスクアライナーは2つの基本的なサブシステムで構成されています。そして基質のフォトレジストの露出を担当する光源。ステージは2つのX-Y線形変換ステージ（または「テーブル」）で構成され、2つの回転ステージに接続されています。2つの回転ステージは、精度0。007度のXY平面で回転します。X-Y線形ステージは、1µmよりも再現可能な精度で基板とマスクを3次元で移動させます。さらに、ステージにはウェーハリフトシステムがあり、露出プロセス中に基板を適切に保つように設計されています。光源は、最大245nmの紫外線（UV-C）でフォトレジストを照らすことができるフォトマスク投影システムです。光源にプログラム可能なUV-Cの強度と露光時間があり、露光プロセスを細かく制御できます。SVG 551 HTは、デバイス製造のための汎用性の高いツールです。高精度なステージとパワフルな光源により、マスクアライナーは数ミクロンまでの特長サイズを作り出すことができます。また、標準的なリソグラフィーマスクや、デジタルロジック回路、メモリチップ、ナノスケールトランジスタなどの半導体デバイスの作成にも使用できます。