中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 551 HT #9165929 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 551 HTマスクアライナーは、ウェーハ上の回路のパターン化とアライメントを目的とした、最先端の自動ウェーハレベルのリソグラフィ装置です。正確で正確な露光機能を備えており、100nmまでの精度の機能を提供します。同等のリソグラフィーシステムよりも小型で低コストなため、大量のチップ生産に最適です。このシステムは、干渉マッピングを使用してマスクパターンを基板上に正確に整列させ、直径6インチまでの基板を収容することができます。光源、レンズ、マスクを保持するスリットローター、アライメント検出器で構成されています。マスクアライナーは、最小ライン/スペースパターン0。5um、最小面積0。2um x 0。2um、露出反復精度0。1umのウェハをイメージングすることができます。機械は高精度モーターの助けを借りて機能し、精密で正確なモーションコントロールを提供します。高解像度のリニアエンコーダで構成されており、リソグラフィで使用される光学計算を正確に測定する手段を提供します。また、100mmと150mmのウェーハにも対応可能です。ファインアジャストメカニズムを備えており、マスクパターンを基板に合わせやすくなっています。このマシンには、最大20個のキーを格納できる自動モデルとキーフレームプログラミング機能が搭載されており、ユーザーはパターンを迅速かつ正確にリコールできます。SVG 551 HTマスクアライナーには、3。5 インチLCDディスプレイを含む高度な制御機能が搭載されており、アライメントパラメータを簡単に調整できます。さらに、このツールにはオートキャリブレーション機能が内蔵されているため、露出前に手動で補正する必要がありません。さらに、この資産には、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを含む包括的なソフトウェアパッケージが含まれています。これにより、ユーザーは迅速かつ直感的にモデルに必要な調整を行うことができます。このソフトウェアは、プログラム可能なパラメータを保存するためにも使用でき、その後の実行のためのマスクの手動再プログラミングを排除し、保存されたパターンをすばやく取得することができます。全体として、ASML 551 HTマスクアライナーは、幅広いリソグラフィのニーズに最適です。高容量チップ生産のための正確かつ再現性の高い露出機能と、自動化されたアライメントやキャリブレーションなどのさまざまな高度な機能を提供します。