中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 340HT #5943 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 340HTは、光学リソグラフィに使用される最先端のマスクアライナーです。高精度でアライメント性の高い、厚さ3ミクロンまでの高密度で複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスを製造することができます。この機械は最高レベルの精度を提供し、要求の厳しいアプリケーションに優れた結果を提供します。SVG 340HTマスクアライナーは、マスクと基板を配置するステージと、投影光学系の2つの主要コンポーネントで構成されています。ステージは5方向の動きと0。5ミクロンのX-Y分解能を提供しています。モータードライブとモーションエンコーダを装備してモーションエラーを検出し、真空チャックはボードとマスクを所定の位置に保持します。プロジェクションオプティクスシステムは、精密楕円回折格子を含む強化されたUVプロジェクションレンズを備えています。これにより、優れたイメージングと優れたアライメント精度が保証されます。マスクと基板のアライメントは、ASML 340HTのアライメント・オン・ザ・フライ技術によって実現されます。マシンは基板上の配置マークを見つけ、マスクの相対位置を計算し、それらを揃えます。これにより、複雑なマスクをより少ないステップで整列させ、整列精度を向上させることができます。340HTは、石英やシリコンなど様々な基板に対応しているため、汎用性に優れています。標準的なUVから極端なUV （EUV）まで幅広い照明源をサポートしています。また、0。25、0。45、0。65ミクロンの特徴サイズを含む様々なパターンを露出し、イメージングすることができます。このマシンには、アライメント精度と露出速度に関するリアルタイムのフィードバックを提供する自動性能および機能検証ツールが装備されています。また、加工されたパターンを表示する高解像度カメラを備えており、あらゆる欠陥を瞬時に評価することができます。要するに、PERKIN ELMER 340HTは、精密なマイクロリソグラフィ用途向けに設計された強力で正確なマスクアライナーです。汎用性が高く、様々なマスクを自動調整することができるため、高精度、高解像度、およびアライメントを必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。