中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 300 #40530 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML 300は、微細構造加工プロセスに必要なアライメント精度で基板パターンを正確に制御するマスクアライナーです。このマシンは352mm （13。86インチ）の大きな制御フィールドを持ち、そのステージはx、 y、およびシータ方向に正確に移動することができます。統合されたアライメントマークセンサーにより、基板内のマーカーを簡単に検出することができ、複数の基板上で正確なアライメントとアライメントを繰り返すことができます。SVG 300は、微細加工プロセス用のデジタルプロジェクション装置も備えています。このシステムは最大0。25 μ mの分解能を持ち、サブミクロンスケール用途の基板パターンを正確に制御することができます。デジタルプロジェクションユニットは、優れた画質、高解像度イメージング、デジタルイコライゼーション、ソフトウェア制御レンズ補正機能を提供するデジタルオプティクスおよび超低歪みイメージングコンポーネントで構成されています。マスクアライナーはデジタル照明も備えており、異なる基板タイプに合わせて調整できる精密な照明制御を提供します。さらに、マスクアライナーには高度な投影チューブが装備されており、ユーザーは小さな（0。1 μ mまで）パターンを高精度で処理することができます。また、ASML 300には基板カセットマシンが内蔵されており、アライナーに素早く簡単に基板を転送することができます。内蔵のリソグラフィーステーションにより、ユーザーは優れた均質性と高解像度の精度で基板を素早く処理できます。PERKIN ELMER 300の安全な動作を確保するために、不活性ガスエンクロージャ、圧力センサー、自動安全カバーなどの高度な安全対策を備えており、外部損傷から光学系を保護し、資産部品に損傷を与える可能性のあるガスを検出します。要約すると、300は、その大きな制御フィールドとデジタルプロジェクションモデルで基板の制御パターンを提供する強力なマスクアライナーです。また、デジタル照明、高度な投影チューブ、内蔵基板カセット機器、リソグラフィーステーション、安全対策を備えており、優れた精度と均質性で微細構造製造プロセスを安全に処理できます。