中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML 200 #40531 を販売中

ID: 40531
ウェーハサイズ: 4"
Projection Aligner, 4" Deinstalled.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 200マスクアライナーは、半導体の製造におけるマスクパターンのアライメントに使用される高精度の機械です。このデバイスは、高度なイメージング技術を使用して、マスクとウェーハを正確に整列させ、マスクのパターンが適切にウェーハに転送されるようにします。SVG 200には、2つのレーザーシステム、2つのイメージングカメラ、2つの高速ステージが標準装備されています。レーザーは距離やパターンを測定するために必要な照明を提供し、イメージングカメラはマスクパターンの画像をキャプチャします。高速ステージは、最大1ミクロンの精度であらゆる方向にアライナーを移動させることができます。また、洗練されたマスククランピングシステムにより、マスクの安定した位置決めが可能です。ASML 200には、さまざまな安全機能とアラームもあります。これらのアラームは、オペレータにパターン外条件やその他の不規則性を警告します。さらに、簡単に操作できる直感的なインターフェースを備えたオンボードコンピュータが付属しています。アライナー自体に加えて、200にはさまざまなソフトウェアパッケージが含まれています。これらのプログラムは、画像解析および操作、露出制御、レチクル制御、および欠陥およびテスト分析に使用されます。PERKIN ELMER 200は、直感的なソフトウェアと高性能コンポーネントにより、ウェハレベルの処理に最適なソリューションを提供します。SVG/PERKIN ELMER/ASML 200は、半導体業界での使用に最適な汎用性の高い高精度機器です。優れた精度でマスクをウェーハに正確に合わせることができ、画像解析、欠陥検出、露出制御などに必要なツールを包括的に提供します。堅牢なパフォーマンス、信頼性の高い機能、直感的なソフトウェアを備えたSVG 200は、幅広いウェハレベルの生産プロセスに最適です。
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