中古 SVG / PERKIN ELMER 660 #9396151 を販売中
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SVG/PERKIN ELMER 660は、ナノリソグラフィ用途向けに設計された高度な精密マスクアライナーです。このマスクアライナーは、さまざまなアライニング方法を使用して、最も再現性の高い結果で最高の精度を達成します。統合された洗練されたソフトウェアは、ほとんどのアライメントプロセスを自動化し、柔軟なマシン内で迅速かつ再現可能な結果をもたらします。SVG 660は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造、グラフィックアートイメージング、精密フォトリソグラフィなど、さまざまな用途に使用できます。この装置は、高精度の手動ステージ、高解像度の光学画像、オンボード× 40光学ズームシステム、およびアライメントを支援する機能の自動位置決めを備えています。PERKIN ELMER 660は、基板実装、マスク加工、ウェーハおよび基板登録、およびプリアライメントに関連する時間とコストを大幅に削減するように設計された8軸カートリッジを使用しています。さらに、660アライナーを手動または自動モードで操作することができ、基板とマスクの処理を軽減します。SVG/PERKIN ELMER 660の高度な光学ユニットは、さまざまな倍率で正確に画像を撮ることができ、詳細で正確なアライメントプロセスを可能にします。このマシンには、プロセスのバリエーションを減らし、結果を改善するのに役立つ自動エッジ検出機能が装備されています。このツールにはレーザー干渉計も含まれており、0。1 µmまでの正確なステージ制御と分解能レベルを確保するのに役立ちます。全体として、SVG 660 Mask Alignerは高精度リソグラフィーのための高度な資産であり、プロセスのばらつきを低減し、複雑で繰り返し可能なナノリソグラフィープロセスを可能にします。洗練されたオートメーションと高解像度イメージングを駆使し、高速で正確な結果を得ることができます。装置の適用範囲が広い設計および改善可能な特徴はそれをいろいろ生産および研究の適用のための大きい選択にします。
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