中古 SVG Micralign 600HT #9400549 を販売中
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ID: 9400549
ウェーハサイズ: 6"
Projection mask aligner, 6"
Running hours: 37,827
AIM Advanced interface
PC Control (computer untested)
(15) CAMBRIDGE Instruments eye pieces
Detachable keyboard
Operation and training manuals included
Power supply: 208/220/240V, 60Hz, Single phase.
SVG Micralign 600HTは、フォトリソグラフィープロセス用に設計された最先端のマスクアライナーです。最小フィーチャーサイズは1。2 μ mから200 μ mまで、ステップとリピートとフルフィールドの両方のアラインメントで幅広いアプリケーションをカバーするのに理想的です。マスクアライナーは、マスクを保持するプロセスチャンバーと、露出用にウェーハを配置するウェーハステージで構成されています。レーザー干渉計を使用してウェーハの地形を検出し、マスクとウェーハの位置を微調整して完全に揃えます。Micralign 600HTを使用すると、幅広い照明源と倍率から選択してサブミクロンのフィーチャーサイズを作成できます。これだけでなく、SVG Micralign 600HTは、流体マスクの損傷を排除し、1時間あたり最大16。6ウェーハのスループットを可能にするChuck Impulse Technologyを利用しています。さらに、150mmステージではなく200mmステージを採用しているため、より多くのウェハに対応し、さらにスループットを向上させることができます。このツールには独自のVariThermal Process Control （VPTC）装置が装備されており、マスクとウェーハが処理およびアライメント中に適切な温度に保たれます。ウエハやマスクの温度補正に最適な動的温度制御機能を搭載しています。このユニットを使用すると、プロセス設定を迅速かつ簡単に調整して、さまざまな環境やさまざまなマスク材料に対応できます。さらに、Micralign 600HTは、33nmのサブピクセル整列精度と1um未満のワープ誤差で、非常に高い解像度を保証します。これにより、高度なICおよびBIOSテクノロジーに最適なツールとなります。最後に、このマシンは非常にユーザーフレンドリーなソフトウェアマシンと組み合わされており、操作とメンテナンスが簡単で簡単になり、ダウンタイムが短縮されチップの収量が増加します。
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