中古 SUSS MICROTEC ID-NR.174134 #9329395 を販売中

ID: 9329395
Lithography Lamp house: 5000 W.
SUSS MICROTEC ID-NR.174134は、精密なアライメントと再現性を追求したマスクアライナーです。精密スキャン装置、高度なアライメント技術、データ転送技術を組み合わせて、信頼性と再現性、正確なアライメント基板を提供します。ID-NR.174134のスキャナは、最大1nmのスキャン解像度を持つ接触/非接触スキャナです。Cマウントレンズを使用したカメラシステムを搭載し、クロムマスクなどの非接触媒体を検出します。スキャンユニットは、アライメントまたはリワーク操作中に基板の正確かつ再現性の高いアライメントを可能にします。マシンは完全にプログラム可能で、関心のあるパターンや領域を描くように設定することができます。精密アライメント顕微鏡と組み合わせて使用すると、パターン配置の再現性と精度を測定することができます。ID-NR.174134のアライメントツールは、手動および自動アライメント測定の組み合わせを使用する自動位相シフトアライメントです。モデルには、パターンの位置決め、回転、整列のための画像処理アルゴリズムが含まれています。また、最適なアライメント精度を確保するためのフィードバックアルゴリズムも含まれています。また、NVCCフルビューにより、4点揃えを完全に得ることができ、特定のアプリケーションで最大8点揃えが可能です。ID-NR.174134のデータ転送システムは、高速で高性能なイーサネットネットワークインターフェイスです。このユニットは、最大10ギガバイト/秒の速度でデータを転送でき、顧客の要件に応じて銅ケーブルまたは光ファイバケーブルを使用します。このマシンは信頼性が高く安全であり、データレートはマスクアライナーと基板の間で長距離でデータを転送するのに十分に高速です。ID-NR.174134には、さまざまなプロセスを効率的に実行するためのさまざまなアクセサリーとオプションも含まれています。モジュラー設計により、精度測定ツール、分光計、プロセスを監視または制御するためのヒーターなどの他の機器を統合することができます。さらに、超精密アライメントのために、最大3mKの平面内温度安定性±利用できます。結論として、SUSS MICROTEC ID-NR.174134は、精密アライメントと再現性のための理想的な選択肢です。高度なスキャン技術と高度なアライメントアルゴリズムにより、高精度で長距離でのデータ転送が可能です。アクセサリーやオプションの範囲も、さまざまなプロセスに適しています。
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