中古 SHINUMST CA-6AM #293602547 を販売中

SHINUMST CA-6AMは、半導体集積回路の製造におけるフォトリソグラフィープロセス用に設計されたマスクアライナーです。これは、メーカーがミニチュア、高精度のパターンを作成できるように設計されています。アライナーはマスクを通して光を投影することで動作し、ウェーハやフォトレジストに転送されるパターンを作成するために使用されます。CA-6AMは高度な光学機器を使用しており、ユーザーはパターンを非常に正確に調整するだけでなく、フォトレジストの均一な層でマスクを覆いやすくすることができます。機械は肯定的な、否定的なフォトレジストを収容でき、さまざまな決断の範囲のパターンを作るのに使用することができます。SHINUMST CA-6AMは、マスクと基板に最適なアライメントを自動的に検出するオートアライメントシステムを備えており、パターンが基板に正確に転送されるようにします。また、アライメントユニットはセットアップ時間を簡素化し、ユーザーは1つのアライメントから別のアライメントに素早く移動できます。マシンには、レーザーとカメラを使用して各アライメントの精度を監視するマシンビジョンツールも含まれています。CA-6AMは、複雑なパターンを高速で生成するのに適したさまざまな機能を備えています。80キロワット（kW）のヘリウムレーザーと、最小線幅0。2 μ m、最小間隔0。3 μ mのパターンを生成できる高速スキャン資産を備えています。SHINUMST CA-6AMには高解像度のダイレクトビューカメラもあり、オペレータへのフィードバックを提供し、アライメントの調整を容易にします。カメラはまた、画面認識と測定機能を備えています。CA-6AMにより、ユーザーは希望の露出時間と設定を簡単にプログラムでき、複数の露出にわたって一貫した結果を保証します。さらに、露光時間とレーザー力を遠隔で制御することができ、長時間の実行中に高速で正確な補正を行うことができます。SHINUMST CA-6AMは、ユーザーが独自のカスタムマスクを使用できるように、さまざまなフォトマスクと互換性があります。全体的CA-6AMは、さまざまな基板上に非常に精密なパターンを作成することができる高精度のマスクアライナーです。高度な光学機器と正確なパターン転送を保証する自動アライメントシステムを備えています。また、80kWのヘリウムレーザーと高速スキャンユニットを搭載し、最小線幅0。2 μ mのパターンを生成することができます。さらに、SHINUMST CA-6AMはオペレータにフィードバックを提供することができ、さまざまなフォトマスクと互換性があります。