中古 QUINTEL Q8000 ML #9359010 を販売中

QUINTEL Q8000 MLは、集積回路の製造に使用するために設計された自動マスクアライナーです。フォトリソグラフィを使用してシリコンウェーハに回路パターンを正確に転送するための生産レベルのツールです。Q8000 MLは、シリコンウェーハ上の回路パターンの精度アライメントを可能にする自動アライメントオプションを備えています。このツールは、複雑に設計された回路パターンのための多くの高度な機能を提供します。パターンイメージング、アライメント、露出システムを使用して、小さな機能を正確に生成します。また、10nmの高精度な配置精度と、X軸とY軸で0。5ミクロンのウェハステージ分解能を提供します。QUINTEL Q8000 MLは、アライメントと露光プロセスにおける並列性により、高いスループットを実現しています。このツールは、幅広いアライメント精度レベルを提供する自動スリットスキャンアライメント装置を使用しています。高度なアライメントアルゴリズムにより、正確なパターンとオーバーレイアライメントを可能にします。さらに、複数のレーザウェハマッピングユニットは、露出精度を向上させるための正確なミスアライメント測定を提供します。Q8000 MLには、小さな機能を効率的に生成する最適化されたビームシェーピングマシンがあります。これは、異なるビームエネルギーに最適化された複数の計算光学要素で設計されています。これにより、各リソグラフィーサイクルの露光プロセスの合計時間を短縮できます。ツールのopto-mechanical設計は非常に信頼性が高いです。振動のない動作を実現し、メンテナンス性と使いやすさを低く再現可能な精度を提供します。さらに、ツールの機械部品は、正確なアライメント精度のための調整可能な範囲を持っています。全体的に、QUINTEL Q8000 MLは、複雑な集積回路の製造における精度のために設計された生産レベルのマスクアライナーです。自動化されたスリットスキャンアライメントツール、高精度10nm配置精度、および最適化されたビームシェーピングアセットにより、複雑な設計を作成するための信頼性と生産性の高いソリューションです。