中古 QUINTEL Q4000 #293663745 を販売中

QUINTEL Q4000は、ソフトエッチング、コンタクトベースのマスクアライナーです。半導体デバイス、MEMS、およびその他のマイクロスケール部品の製造に使用される精密で高収量のリソグラフィープロセスを可能にするように設計されています。また、他のナノ構造およびナノスケール装置の製造にも使用されている。この機械は、スキャンステージ、機械アセンブリ、光学イメージング装置、および付属品で構成されています。スキャンステージは、X軸とY軸の2つの直交軸で構成されています。これにより、マスクを光学的視野に正確に配置できます。メカニカルアセンブリは、マスクの寸法精度、平坦度、およびレベリングに最適な機械的公差を確保するように設計されています。これは、可能な限り最高のリソグラフィック・スループットを達成するために不可欠です。QUINTEL Q 4000の光学イメージングシステムは、最大10Xの倍率で非常に高解像度のイメージングを提供します。組み込まれた屈折光学は、視野全体にわたって非常に均一なイメージングを達成するために、収差、乱視、およびビネットを最小限に抑えるように設計されています。マスクアライナーの補助部品には、顕微鏡、自動ウェハハンドリングユニット、およびプロセス固有のモジュールが含まれます。この顕微鏡は、手動アライメント操作に優れた解像度と精度を提供します。自動化されたウェハハンドリングマシンは、汚染のリスクを最小限に抑えて均一な処理を容易にします。プロセス固有のモジュールは、特定のリソグラフィ作業の要件を満たすために、機械をカスタマイズするためのツールに追加することができます。全体として、Q-4000は精密なリソグラフィを必要とする部品のウェハレベルの生産のための高度なマスクアライナーです。優れた解像度、平坦度、寸法精度の処理に加えて、ウェーハの自動処理およびカスタマイズ可能なプロセス固有のモジュールを提供します。これにより、高いスループットと高い歩留まりを持つ高品質のマイクロスケールおよびナノスケール部品を製造することができます。