中古 QUINTEL / NEUTRONIX Q7000 #293603582 を販売中

QUINTEL/NEUTRONIX Q7000は、単一または複数のデバイスのパターニングアプリケーションのフォトマスクを整列させ、異なる特性要件を持つ複数のデバイスを正確に処理するための汎用性の高いマスクアライナーです。基本的なデバイスや回路処理から、最新の組込みシステムで使用される高度な技術まで、微細加工の仕事に使用できます。QUINTEL Q7000は、基板のX軸とY軸の両方のサブミクロン分解能を提供する2軸の精密モーションステージを備えています。この段階では、最大25cm/sの相対速度が可能であり、コントローラプログラミング機能により、パターニングプロセスを完全に自動化できます。このプロセスは、Windowsなどの他の環境オペレーティングシステムと統合されており、一般的なソフトウェアツールで簡単に操作できます。アライメント用途には、NEUTRONIX Q 7000には、独自の「ステレオビジョン」アプローチを使用して、目的の画像とレイヤーを正確にアラインメントする自動アライメントモジュールがあります。このモジュールは、精密機械加工された光学系と独自の屈折「ステレオビジョン」技術を使用して、最適なアライメントと最も詳細な画像を確実に実現します。QUINTEL/NEUTRONIX Q 7000の主な特徴は、あらゆる平面面で高いパターン忠実性を可能にするデュアルビームリソグラフィ装置です。これは、基板上の1つとマスク上の1つの2つの回折最適化ビーム光学を利用しており、線幅0。1 um以上の画像を生成できる広い焦点範囲を備えています。デュアルビームリソグラフィーシステムのその他の機能には、高スループットでステップ操作とリピート操作を実行できるほか、リソグラフィーコントラストを改善した小型のフィーチャーサイズがあります。Q7000のその他の特長としては、プロセス薬品を基板から遠ざけるために使用できる耐酸性エンクロージャ、プロセスの汚染を防ぐために設計された先進的なFOUP洗浄ユニット、適切なパージングガスを供給するための統合ガス供給機などがあります。Q7000は、高品質で高精度なパターニングアプリケーションに適した高度なリソグラフィーツールです。高度なアライメント機能、自動制御ソフトウェア、デュアルビームリソグラフィ資産などの機能を備え、微細加工ニーズに最適なソリューションです。