中古 QUINTEL / NEUTRONIX Q 4000 #9131039 を販売中

QUINTEL/NEUTRONIX Q 4000は、高精度マイクロエレクトロニクス部品の製造用に設計された最先端のマスクアライナーです。最適化されたウエハハンドリングとマシンインタフェースと高度なガルバノメートルスキャナを組み合わせ、基板上のパターン（マスク）の高精度なアライメントと露出を提供します。QUINTEL Q 4000の中心には、高精度のウェーハ配置とスキャン機能があります。高精度な結果を得るために必要に応じて傾斜および回転が可能な6軸ウェーハ伝達ステージと高度な低慣性ガルバノメータスキャナを使用しています。この装置はまた、X、 Y、およびθ軸に沿った精密スキャンのための精密モーションコントローラと精密エンコーディングシステムを備えています。0。5 μ mまでのエンコーダ解像度。8m/s2までの加速および速度；そして0。01mmまでの反復性。ウェーハ自体を転送ステージに配置し、ガルバノメータースキャナを介してスキャンしてマスクアライメントプロセスを実行します。このユニットは3軸を同期させることで、マスクとウェーハを正確に整列させ、正確な位置決めを最高の精度で行うことができます。このアライメントマシンは、レンズ、プリズム、クォーツレーザー光源からなる光学アレイのおかげで、さまざまなレベルの倍率でパターンを露出することができます。NEUTRONIX Q-4000は、最大厚さ10。0mmの直径1〜8インチのサイズと厚さの範囲でウェーハを処理することができます。工具のフィールドサイズも調整可能で、標準フィールドサイズは50 × 50mmで、130 × 130mmまで拡張できます。さらに、スピンコーティング、熱乾燥、バックサイドアライメントなど、複数のウエハプロセスに対応できるようになっています。さらに、このモデルはWindows NTベースのソフトウェアパッケージを搭載しており、多数のウェーハ準備およびマスクアライメント機能の完全な自動化をユーザーに提供します。これは、ユーザーを容易にするために、画面上の情報とメニューの豊富な完全なグラフィカルなユーザーインターフェイスを備えています。この情報には、ウェーハモーション、目的、フィールドサイズ、アライメントステータス、スキャンパラメータなどのリアルタイムの更新が含まれます。Q-4000は、マイクロエレクトロニクス部品の製造のためにウェーハ上にパターンを正確に配置する必要があるユーザーにとって、信頼性の高い最先端のマスクアライナーです。NEUTRONIX Q 4000は、6軸移動段階、高度かつ低慣性のガルバノメータスキャナ、およびWindows NTベースのオートメーションソフトウェアを備え、すべてのアプリケーションに精度と信頼性を提供するように設計されています。