中古 QUINTEL / NEUTRONIX 7000 #9058228 を販売中
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ID: 9058228
ウェーハサイズ: 6"
High resolution mask aligner, 6"
Backside infrared alignment
Resolution: (1) Micron with vacuum contact.
QUINTEL/NEUTRONIX 7000マスクアライナーは、フォトリソグラフィープロセスに使用される高精度の自動機械です。単一のマスクセットから複数の集積回路(IC)設計を生成するために構築されています。本体、ステージユニット、光学チャンバー、カメラ、X-Y駆動装置で構成されています。動的な2軸ビデオアライメント機能により、優れたアライメント精度を提供し、マルチレベルIC構造の高精度を実現します。高解像度デジタルカメラは、ステージを駆動してワーク上の集積回路設計を正確に整列させるために使用されるアライメントとフォーカスセンシングを提供します。また、強力な光源と特殊光学を使用して収差や反射を最小限に抑える強力な照明システムを備えています。マルチレベルマスクは、ワークピースとX-Yドライブユニットと正しく整列されています。これは、自己診断機を備えており、最適な動作を常に監視および調整します。自動化された破壊ヘッドにより、マスクの正確なアライメントが保証されます。また、ウェーハローダーとアンローダーを備えており、ウェーハの効率的な配送が可能です。さらに、QUINTEL 7000には、制御、プログラミング、レビュープロセスを提供する組み込みのソフトウェアスイートが装備されています。また、最大1。5ミクロンの特徴パターン精度で、1時間あたり最大15枚のウェーハを製造することができます。さらに、このマシンはオンサイトプログラミングと修理を完全にサポートし、市場で最も効率的で信頼性の高いマスクアライナーの1つになっています。
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