中古 QUANTEL NXQ 4000 #9218302 を販売中
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QUANTEL NXQ 4000は、正確で一貫したフォトリソグラフィ結果を得るために設計された高精度マスクアライナーです。NXQ 4000は、最新のアライメントおよびオートメーション技術を活用し、先進的な半導体デバイスやMEMSに最適なフォトリソグラフィーソリューションです。このマスクアライナーは、正確なフォーカスとデジタル制御ステッピングモーター機器を提供することによって動作します。ウェーハアライメントと欠陥レビューを、アライメントと露出の両方のプロセスで実行できます。QUANTEL NXQ 4000は、ウェーハを正確に配置するための高精度オートフォーカスセンサーを搭載しています。統合された検査カメラは、オペレータがウェーハの向きと配置を正確に検証するのを支援します。さらに、複雑で困難な構造の迅速かつ信頼性の高い検出とアライメントのための高度なビジョンシステムが含まれています。NXQ 4000は高度に自動化され、操作が簡単です。モジュラー設計により、接触印刷からイメージステッパーショットまで、ワンステップで様々な作業が可能です。完全に自動化されたコンベアンスユニットにより、露出を妨げることなくウェーハを高速に交換できます。QUANTEL NXQ 4000には、タッチレス保護機、マルチユーザーツール、高感度保護、完全確認機能、プログラム可能な光学アライメント、統合ビジョンアセット、プログラマブルスキャナ制御などの多くの機能が含まれています。さらに、手動で介入することなく正確な欠陥検査を行うためのQAマスクスクリーニング機能も備えています。全体的に、NXQ 4000は、最も複雑で困難な構造のための高精度のフォトリソグラフィ結果を生成するように設計された高度なマスクアライナーです。高度な自動化、柔軟性、パフォーマンスを提供し、効率的なフォトリソグラフィ作業に不可欠なツールです。
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