中古 PERKIN ELMER Micralign 220 #9233008 を販売中

PERKIN ELMER Micralign 220マスクアライナーは、高精度で優れた結果を提供する半導体フォトリソグラフィーマスキング用の汎用性の高いアライナーです。これは、1つのレイヤーから次のレイヤーへのシームレスで正確な遷移を必要とするコンポーネントの少量から中量生産まで、さまざまなアプリケーションに最適なツールです。Micralign 220 Mask Alignerは、シールドを正確に配置し、ウェーハを18 x 20、36 x 40mmの基板に露出させるために、2つの対向ステージX-Yステージを採用しています。ウェーハ、水、アライメントリフト表面の3次元測定により、装置の精度と1ミクロンの精度を保証します。この精度は、ステッピングモーションのパッドレベル制御と、ドリフトフリー動作を保証するXYクロステレセントリックセンシングシステムを組み合わせて実現します。PERKIN ELMER Micralign 220 Mask Alignerはオプションの統合ウエハハンドリングも提供し、個別のアライメントと露出を可能にします。ステッパー駆動のアライメント機構を備え、幅広いアライメント角度を可能にし、並列またはシリアルアライメントも実行できます。これは、25マイクロメートル以上のアライメント精度と3マイクロメートルの最小機能サイズを得るために、高出力、マルチスペクトル光プロジェクションを使用しています。Micralign 220 Mask Alignerは、ハイスループットアプリケーション向けに設計されており、オプションのマルチエクスポージャー・マシンにより、複数の基板を同時に露出させ、効率を向上させます。PERKIN ELMER Micralign 220 Mask Alignerには直感的なユーザーインターフェイスが含まれているため、制御と使用が簡単です。これは、ターゲットウィンドウの外で露出が発生したときに自動的にアセットを調整するキャリブレーションツールを内蔵しています。また、特許取得済みのMEMS （micro electro-mechanical equipment）位相シフト方式を採用しており、オーバーレイ時の位相シフトはすべて同じであり、プロセス全体の安定性が維持されています。最後に、このユニットは、最適な環境でアライメントと露出プロセスが実行されることを保証する温度および湿度制御マシンを備えています。Micralign 220マスクアライナーは、最大の再現性と精度を目指して設計されており、さまざまなマスクアライメントおよびフォトリソグラフィーアプリケーションに最適なツールです。その汎用性と直感的なユーザーインターフェイスは、高精度と高速を必要とするアプリケーションに最適なツールです。