中古 PERKIN ELMER 600 series #9056496 を販売中

PERKIN ELMER 600シリーズマスクアライナーは、フォトリソグラフィに使用される半導体製造装置で広く使用されています。この装置は、マスク画像の光学投影を用いて、ウェーハや基板上のフォトレジストを均一に露出させます。アライナーのコンピュータ制御ステッピングモータを使用して、アライメント処理を高精度で行います。このデバイスは、最大直径6インチのウェーハとチップの製造用に設計されています。ウェーハ上のパターンを精度0。1マイクロメートル以内に正確に整列・構造化できる5軸ポジショニングシステムを搭載しています。単位は4つの主要な部品から成っています；段階、ステッピングモーター、ランプおよびコントローラー。ステージは、イメージングレイアウトが印刷されている基板またはウェーハを移動して配置するために使用されます。ステッピングモーターを使用して、ステージは3軸で基板を正確に回転させて曲げ、基板上の光学レイアウトを正しく整列させることができます。アライメントプロセスに使用されるランプは、フォトレジスト層を十分に露出させるのに十分なエネルギーを提供する高輝度のUVランプです。コントローラは、ステッピングモータに電力を供給し、露光時間、シャッタースピード、フォーカスなどの他の操作を制御することでデバイスを指示するソフトウェアコンポーネントです。PERKIN ELMERマシンのユーザーインターフェースにより、アライメントパラメータを素早く簡単に設定できます。また、倍率、歪み制御、回転オフセット補正などの一般的なパターン補正ツールも備えています。さらに、ツールコントロールにより、ユーザーは各ジョブの幅広いパワー、強度、サイクリング設定にアクセスできます。PERKIN ELMERアセットは、半導体製造に欠かせない高品質な性能を提供します。それは正確なパターン移動を可能にする均一な露出を提供します。このモデルには、アライメント圧力の制御、過剰照明の回避、ソースの故障の予測などの安全機能も内蔵されています。また、マスクアライナーには定期的なメンテナンスをお勧めします。全体として、600シリーズマスクアライナーは、半導体製造で使用されるフォトリソグラフィの高精度アライメントのための不可欠な機器です。