中古 PERKIN ELMER 600 series HT #195230 を販売中
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ID: 195230
ヴィンテージ: 1988
Mask aligner
Main body
Uniformity tester
AFA linear array camera
Scan package
A4 and A5 boards
Relay package
A401, A700 and A703 Boards
1988 vintage.
PERKIN ELMER 600 シリーズHTは、高精度ステッピングモーターモーションコントローラを搭載した先進的なマスクアライナー装置で、繊細なマスクを半導体製造の基板に正確に合わせることができます。このシステムは、加熱基板ホルダー、正確な角度方向のためのシータステージ、およびステップアンドリピートおよび連続動作の両方が可能なX-Y変換ステージを備えています。このユニットは、フォトリソグラフィックプロセス制御に最適化されており、高度な露出制御、10倍の拡大ステッパアライメントのためのアライメントフィードバック、およびより良い集中精度のためのオンアクシスイメージングが可能です。600 シリーズHTは、デリケートなマスクを効果的に調整するために、可変ウェーハとマスク構成に基づいて露出を自動的に最適化する完全にプログラム可能なヒューリスティックマスクアライメントアルゴリズムを使用しています。このアルゴリズムにより、マスクのアクティブ層が常にウェーハに適切に焦点を当てていることが保証され、ウェーハスタックの高さの違いによるずれが防止されます。さらに、このマシンは露出間の「ドウェル」期間を可能にし、マスクマスクの誤記を減らし、プロセスの再現性を向上させるのに役立ちます。PERKIN ELMER 600 シリーズHTには、オンアクシス・イメージングを備えた高度な光学顕微鏡イメージングツールが搭載されています。これにより、アセットは、マスクや基板の表面近くの層の重要なアライメントマークを正確に識別して焦点を合わせることができます。このモデルは、タイトなフォーカスコントロールを必要とする製造ファブに最適です。600 シリーズHTはさらに、ユーザーが選択可能なウェーハサイズを備えているため、セットアップ中にオペレータが希望するウェーハサイズを簡単に選択することができます。この設定時間の短縮と露出の自動最適化により、露出間の迅速なアライメントとフォーカスの再現性を実現します。この装置はまた、高度な空力冷却サブシステムを提供しており、水冷による損傷を避けながら、より高いスループットを実現します。各レイヤーの露出直前に冷却を行うように設定することができ、クーラーウエハーや露出時間の短縮が可能です。要約すると、PERKIN ELMER 600 シリーズHTはフォトリソグラフィープロセス制御に最適化された高度なマスクアライナーユニットです。このマシンは、繊細なマスクを正確にアライメントするためのユーザプログラマブルなヒューリスティックアライメントアルゴリズム、正確なフォーカス精度を向上させるための高度なオンアクシスイメージングツール、損傷を低減してスループットを向上させる空力冷却、簡単なセットアップと高速アライメントのためのユーザー選択可能なウェーハサイズを備えています。
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