中古 ORIEL 8097 #9096377 を販売中

ORIEL 8097は、デバイス製造プロセスで使用されるAligner-Proberマスクステッパーです。レチクルから得られたフォトレジストパターンをシリコン基板に移し、正確なアライメントと成膜制御を行います。マスクアライナーは、42 mmレチクル交換装置を自動化し、より高速な積載を実現し、効率的な生産プロセスを促進します。8097には8x8インチの標準的な視野（FOV）があり、アライメントプロセス中に完全な視野制御のための自動ウェーハインデックスシステムが付属しています。さらに、XYモーションコントロール機能と、オートフォーカス、バックサイドアライメント、ダイツアライメントオプションなどのさらなる構成オプションにより、柔軟なアライメントシナリオを提供します。フルフィールドアライナーは、拡張された20ビットイメージングプロセッサを介して正確にアライメントするためのビジョンユニットと、グローバルシャッター技術を備えた高解像度0。74 µm TVスポットCCDカメラを備えています。ORIEL 8097は、ピクセルマスクマッチング、ブライトフィールド、edgescanウエハオーバーレイ、パターン検出、リアルタイム検査など、複数のアライメントモードで利用できます。さらに、レチクルは、手動およびアルゴリズム座標調整による精密制御を備えたオートフォーカス機構を備えています。さらに、基板またはマスクアライメントの精密平行性と平面性のためのさまざまな線形およびセグメント化アクチュエータが装備されています。8097は、効率的な操作のためにLinuxのリアルタイムオペレーティングマシンとヒューマンマシンインタフェース（HMI）を搭載しています。ステップ分解能0。5-1。0 µm、最大4インチのライティングフィールド、ステージ精度8。0 µm （3シグマ）を備えています。このツール全体はウェハカセット環境で動作し、8インチから200 mmまでのウェハー、およびレチクルマガジンの最大42 mmのレチクルを収容できます。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、簡単なプログラム設定と自動ステッパー制御が可能です。さらに、高真空（HV）プラズマデスメアリングステーションを内蔵した後処理洗浄ステーションと、粒子濃度を最小限に抑える真空ハロー還元ステーションを搭載しています。さらに、基板への熱応力効果を最小限に抑えるための加熱クランプチャック、UV光源への露出用のUVフラッドランプ、およびマスクとウエハーのギャップ距離をサブミクロンの精度に制御するための100 µmの±精度を備えた統合ルーフリフターアセットが含まれています。8097は、精度、信頼性、拡張性を念頭に置いて設計されたマスクアライナーです。フォトレジストを高精度で高速な基板に成膜するのに最適です。このステッパーは最大3年間の製品寿命を提供するように設計されており、高い投資収益率と効率的な生産を保証します。