中古 OAI J500 / VIS #293741977 を販売中

OAI J500/VISは、半導体業界の用途に特化して設計された超精密マスクアライナーです。本機は、独自の光学ウェーハアライメント装置（OAI）を採用しており、精密なウェーハステージと独自のフォーカス制御機構を併せ持っています。OAIは2つのレーザダイオードビームを使用し、ウェーハの表面を正確にスキャンして中心と向きを決定します。正確に配置すると、一連の調整可能な光学レンズがウェーハ表面に正確に焦点を合わせることができます。これは、各レイヤーを次のレイヤーに正確かつ一貫した配置するために重要です。このウェハ登録精度は0。2 μ m以内です。このユニットは、5軸ウェーハステージを使用して、最も厳しいアライメント要件を満たす正確な垂直および2軸チルトステージを提供します。これらのシステムを組み合わせることで、XY平面で0。1 μ m、 μ z平面で0。05 θ mのウェハ登録誤差が得られます。J500/VISマスクアライナーは、高い精度とカスタマイズ性を備えた電子部品を製造する理想的なプラットフォームをユーザーに提供します。OAI J500/VISは、高精度のOAIマシン、多彩なフォーカス制御メカニズム、高度な5軸ステージツールにより、高い信頼性と高い精度でタスクを実行することができます。機械はまたセットアップ時間を減らし、効率を最大にする高度のオートメーションの特徴が装備することができます。J500/VISは、優れたパフォーマンスにより、重要なフォトリソグラフィおよびウェーハ処理タスクに適しています。