中古 OAI J500 / VIS #293668356 を販売中

OAI J500/VISは、ウェーハ加工に使用される高度な高精度マスクアライナーです。フォトリソグラフィ作業用の機器として設計されており、自動化されたインテリジェント機能により優れた性能を提供します。J500/VISマスクアライナーは、最大0。7 μ mの表面精度で高解像度の機能を提供し、さまざまなウエハプロセスで使用できます。マスクアライナーには、フォトリソグラフィープロセスパラメータを素早く簡単にセットアップするための直感的な制御ソフトウェアが含まれています。また、高解像度のウェハレベル電子イメージングユニットを搭載し、マスクをウェハに正確に配置します。マスクアライナーには、実際のマスクを進める前にパターン内のエラーを識別する露出シミュレーション機能が組み込まれています。この機能は、プロセスに導入される前にフォトマスクのエラーを修正することができます。さらに、OAI J500/VISには、マルチフィールドステッチ精度、セグメント化された視野、および自動化されたインテリジェントセルフアライニングマシンが含まれています。自動化されたインテリジェント自己整列ツールは、インテリジェントアルゴリズムの力を利用して、いくつかのウェハ特性に応じて最適なパラメータを迅速に計算します。これには、タスクに必要な最適なパターン密度、露出線量、焦点を自動的に決定する機能が含まれます。J500/VISは、効率的かつ正確な操作により、フォトリソグラフィックウェーハ処理の品質を保証する理想的なツールです。