中古 OAI J500 / VIS #153743 を販売中

OAI J500/VISはマスクアライナーで、半導体製造でレチクルまたはレチクルからウェハ表面にパターンを転送するために使用されるデバイスの一種です。マスクツーウェーハアライメントと露出のタスクを実行します。J500/VISは、主に集積回路（IC）の製造に使用される自動精密パターン転送システムです。OAI J500/VISデバイスは、光学アライメントと露出ヘッド、レチクルステージ、ウェハステージ、コントローラなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。レチクルステージは、レチクルをウェーハ表面の軽いイメージに変換し、適切なアライメントのためにシステムを強制的に調整する責任があります。ウェーハステージは、接触露出のためのウェーハを構成し、J500/VISが適切な露出のためのパターンを整列するので、それを所定の位置に保持します。光学アライメントと露出ヘッドは、マスクからウェーハに光を向ける責任があります。コントローラは、システムコンポーネントの動作を調整して、レチクルパターンを正確にウェーハに合わせて露出させます。OAI J500/VISは、通常1。5ミクロンの誤差で高精度のパターン転送が可能です。この精度は、コンピュータチップ、マイクロプロセッサ、メモリチップなどの大規模集積回路の製造に不可欠です。このデバイスは、1時間に最大8個のウェーハをスループットで高速に処理できます。また、複数のレチクルを処理することができ、効率と生産性を向上させることができます。J500/VISは、集積回路製造のための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。このデバイスは自己完結型であり、メンテナンスを最小限に抑える必要があるため、生産設定に最適です。それは約10年の従来の耐用年数の長期使用のために、設計されています。OAI J500/VISは、高精度のパターン伝達と効率的な操作により、半導体製造業界に不可欠な部品です。