中古 OAI J500-IR/VIS #9267335 を販売中

OAI J500-IR/VISはOAIが開発したマスクアライナーです。このデバイスは、短波長赤外線（IR）または可視光（VIS）放射を使用して、集積回路（IC）基板上で重要なリソグラフィ工程を実行します。これにより、半導体製造のプロセスが正確、正確、かつ効率的になります。このデバイスは、パターン化された水晶基板に基づいており、ウェーハの表面に整列しています。半導体基板は赤外線にさらされ、パターン化された石英基板をウェーハの上に正確に配置するために使用されます。OAI J500-IR/VISは、液晶ディスプレイ（LCD）を備えており、p+要素とパターン化された水晶基板を揃えています。アライメント手順は、LCDに基づいた基板の正確な位置決めから始まります。次に、一連の紫外線光源を使用して基板を照射します。紫外線の動きを適切に制御することで、パターンを基板に正確に移します。UV光が水晶から基板に反射し、定義されたパターンをウェーハに移します。OAI J500-IR/VISが達成した正確なパターン登録とアライメントは、真空チャンバーと拡張可能なベローズシステムの組み込みによって可能になります。パターンが転送されると、真空システムはチャンバー内の圧力を維持し、マスクを基板と完全に整列させるのに役立ちます。フレキシブルベローズは、チャンバ内の圧力を維持し、全体的な精度を高めるのに役立ちます。このデバイスを使用すると、ユーザーはさまざまな変更や調整を行うことができます。これには、アライナー、露光角度、アライメントシステム、照明条件の選択が含まれます。このデバイスはアップグレード可能で、追加の機能とオプションを使用してカスタマイズすることもできます。OAIのJ500-IR/VISのための普及した適用区域はMEMS、表示、微細構造、レーザー光学、医学および光電子装置、また半導体デバイスを含んでいます。OAI J500-IR/VISは、高解像度の画像と優れた速度を提供するため、あらゆるIRまたはVISプロジェクションアライナー要件に最適です。