中古 OAI Hybralign Series 400 #9096376 を販売中
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ID: 9096376
ウェーハサイズ: 8"
Mask aligner, 8"
10" Collimated beam with mask holder
Nikon Stereozoom optics
Bulb, 350W.
OAI Hybralign Series 400は、半導体産業におけるフォトリソグラフィ用途向けに精密で高品質なマスクを製造するために設計されたマスクアライナーです。最先端の光学イメージングシステムを使用しており、2ミクロンのサイズの画像とエッチング機能を実現しています。マスクアライナーは、3ミクロンの再現性に達することができるウェハステージを備えています。ステージは、最大直径300mmの大型ウェハに対応できます。Hybralign Series 400は、顕微鏡とレーザーアライニングを組み合わせて、マスクパターンをウェハ上に正確に配置します。最大10倍の倍率を持つ高解像度の光学顕微鏡を使用して、パターンのアライメントを正確に検出してシャープロックします。さらに、レーザーアライメントシステムは、ウェーハを高精度にスキャンして、画像を4〜5点の基準点に合わせます。Hybralignのアライメント精度は非常に正確で、位置変更精度は+/-0。5 μ mです。これにより、マスクパターンの特徴がウェーハ上で正確かつ正確に再現されます。また、用途に応じて深さの範囲の層をエッチングすることができます。OAI Hybralign Series 400はユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、ユーザーはジョブを素早くセットアップして実行できます。また、GDS IIフォーマットのファイルと互換性があるように設計されており、マスクパターンを読みやすく視覚化することができます。さらに、セットアップとアライメントのプロセスは、コントロールパネルを介してリモートで監視することができます。全体として、Hybralign Series 400は半導体産業のフォトリソグラフィ用途向けに特別に設計された高精度マスクアライナーです。高度な光学イメージングとレーザーアライメントシステムにより、最大0。5 μ mの位置決め精度で高品質なマスクを製造できます。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ユーザーはジョブを素早くセットアップして実行でき、GDS IIフォーマットにも対応しています。
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