中古 OAI HYBRALIGN 500 #9012380 を販売中

OAI HYBRALIGN 500は、集積回路（IC）の開発において、リソグラフィープロセスに使用されるプロフェッショナルなマスクアライナーです。ステッパーの一種で、基板上のパターンをイメージするために使用されます。HYBRALIGN 500はデュアルフィールドマシンであり、同時に画像に使用できる2つのフィールドを備えています。これにより、フィールド間の迅速な交換と同じパターン内の異なるマスクの垂直アライメントを可能にします。OAI HYBRALIGN 500の解像度は、ステッパーパラメータに応じて0。2 μ m以上です。その特徴は焦点の最適化の深さ、紫外線露光、および一直線および焦点システムを含んでいます。また、露出制御ユニット（ECU）も含まれています。これは、最高の精度と最高の画質を確保するために、露出ごとに設定を最適化するために使用されます。プロセッサは露出データをコンパイルし、直接アライナーに送信します。HYBRALIGN 500には非球面カラムも装備されており、パターンに合わせて最も正確なアライメントと最高の解像度を実現します。また、ステッピングシフトによるパターンの違いを補うことができる高度なマスクアライメントシステムを備えています。さらに、アンチドリフトシステムを備えており、ミスアライメントを最大許容値以内に継続的に保持し、リソグラフィープロセス全体の収率を向上させます。また、レーザーレジスト露光やレーザーソース向け露光などの直接および間接の両方のイメージング機能を備え、最大8インチのマスクサイズにも対応しています。さらに、汚染を最小限に抑えるためのクリーン汚染コアユニットと、回転ステージを内蔵したサブフィールドイメージングのオプションが含まれています。OAI HYBRALIGN 500には、ナイフエッジ法、ベッセルビーム法、露出や画像解像度を正確に制御できるエアベアリングテーブルドライブなど、いくつかの機能が組み込まれています。さらに、HYBRALIGN 500は、メンテナンスとスムーズな操作のために人間工学的に設計されています。また、さまざまな種類のステッパーと互換性があり、さまざまな業界に適用可能です。全体として、OAI HYBRALIGN 500は、優れた画像解像度と高精度リソグラフィを提供する高度なマスクアライナーです。その高度な機能は、高い収率を提供するだけでなく、スループットを最大化し、製造プロセスの欠陥を低減します。