中古 OAI HYBRALIGN 500 #133785 を販売中

OAI HYBRALIGN 500は、集積回路の生産における高度なパターニング技術に理想的な強力なマスクアライナーです。このデバイスは、HYBRALIGN 500A、 500B、 500Cの3つのモデルで提供され、それぞれマスクと基板の厚さに対応するように設計されています。HYBRALIGN 500には400nmの波長で動作するプロジェクションイメージング装置が搭載されており、マスクを介して送信されるレーザー光を基板のフォトレジストに当てます。このシステムは、既存または新規に投影されたパターンを介して、マスクと基板上のアライメントマークの位置を記録することができます。また、精密電動ステージを使用して、わずか2ミクロン以内に正確にアラインメントをターゲットにします。このユニットは、各アライメントと露出ステップの前にフォトレジストコーティングを適用することができ、高度なパターンマッチングアルゴリズムを使用して高精度のアライメントを実行します。自動パターンマッチング、オンザフライエラー補正、ハード・リアルタイム・アライメントなどのオプション機能を追加して、効率、スループット、トータルコストの削減を実現します。OAI HYBRALIGN 500は、最小限のスペースを占めるコンパクトなモジュラー設計と、多くの生産タスクと技術の要求に応えるように設計されたモジュラー運動機械の利点もあります。カスタマイズ可能なソフトウェアパッケージは、アライメントや露出マークなどの重要なデータの転送を容易にするために利用できます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスは、露出パラメータを設定し、複雑なコーディングなしでデータを表示することができます。さらに、HYBRALIGN 500はSEMI業界標準に準拠しており、最大限の運用効率とパフォーマンスを確保するための完全なテクニカルサポートによって補完されています。これは、高精度マスクアライメントとパターン転送を必要とする高度なリソグラフィ技術のための理想的なソリューションです。