中古 OAI HYBRALIGN 400 #9140530 を販売中
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OAI HYBRALIGN 400は、マイクロリソグラフィ用途向けの高度なマスクアライナー装置です。このシステムは、市場で入手可能な最も正確で信頼性の高いマスクアライナーの1つです。HYBRALIGN 400は、ボトムアップアライメント(マスクイメージに基づくアライメント)とトップダウンアライメント(ウェハイメージに基づくアライメント)を組み合わせたハイブリッドユニットです。ボトムアップアライメント機能により、非常に正確で信頼性の高い画像アライメントが可能です。トップダウンのアライメントにより、ウェーハ上の重要な寸法の精度が保証されます。マスクやウェーハイメージの小さなテーパや形状を高精度で識別することができます。OAI HYBRALIGN 400は、超高解像度CCDアライメントセンサーを使用して、1 µm以内にアライメントを制御することができます。また、最大200mm/sのステージ速度を実現できる高速・高精度のスキャンステージを搭載しています。HYBRALIGN 400は、エアギャップ用途の洗練されたオフアラインメントをサポートし、デバイスウェーハ上のアライメントセンターの過剰露出を避けるためのアンチブルーミング技術を提供します。このツールには、高性能の並列GPUコンピューティングパワーが装備されており、スループプットを改善し、実行時間を短縮します。OAI HYBRALIGN 400は直感的なユーザーインターフェイスを備えており、効率的で簡単な操作を可能にします。これは、データ交換とリモート操作を可能にするために、ソフトウェアシステムとネットワーク化することができます。アライメントプロセスを監視および調整するためのリアルタイムの有益なデータを提供し、静かなクリーンルーム環境で操作できます。HYBRALIGN 400マスクアライナーは、マイクロリソグラフィー用途に高度な機能と精度を提供し、半導体、ディスプレイ、医療、光学デバイス製造など、さまざまな業界での使用に最適な資産です。
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