中古 OAI HYBRALIGN 400 #9012379 を販売中

OAI HybriLign 400 Mask Alignerは、強力で技術的に高度なマスクアライナーで、ユーザーの操作時間を最小限に抑えながら生産効率を向上させます。幅広いアライメント機能を備え、半導体ウェーハ、マイクロサーキット、その他のマイクロインテグレーション素子の製造に使用するように設計されています。量産に特化した初の薄型ウエハーマスクアライメント機です。レーザーマスクアライメント技術と伝統的な光学シャドウマスクアライメントとトランスミッションイメージングを組み合わせ、半導体ウェーハの製造に使用されるマスクの登録にサブミクロン精度を提供します。複数のウエハを1つのアクションで整列させることができるため、サンプル毎の手動調整の必要性を大幅に低減でき、高スループット製造が可能です。HybriLign 400は、2つの非接触レーザー光源、光学目的システム、エッジ検出サブシステム、およびさまざまな倍率レベルのデジタル視野を備えています。これにより、パターンの周りに完全に制御可能なマークフリー領域を残しながら、マスクされたパターンを非常に迅速かつ正確に見つけることが±1µmます。視野も別のフィールドに拡張され、異なる角度からの同時アライメントを可能にします。これにより、より精度の高い精度が必要になります。また、従来の光学シャドウマスクアライメントでは製造が困難であった複雑なパターンの高速生産も可能です。さらに、HybriLign 400には独自のActive Level Alignment機能が搭載されており、所定のレイヤーのずれをすばやく修正できます。これにより、オペレータは、ほぼリアルタイムでエラーを修正できるため、マスクの整列方法をより正確に監視する方法を提供します。HybriLign 400の先進的な設計と技術により、マイクロインテグレーテッドデバイスの製造において、高性能と高精度に最適です。薄いウェーハの生産を処理し、その場でアライメントを実行する能力は、それが競争から際立っています。