中古 OAI Hybralign 200 #293590397 を販売中

OAI Hybralign 200は、光学リソグラフィ用の高度なパターニングプラットフォームを提供する半自動マスクアライナーです。この装置はフォトマスク上にパターンを作成するために使用され、正確な寸法で高解像度の構造を作成するのに役立ちます。この装置は、極端な紫外線投影イメージングを使用して、フォトマスク上の望ましいパターンを取得します。このシステムは、ほとんどのリソグラフィ用途に最適な2ビーム投影ユニットで設計されています。その空間光モジュレータは、フォトマスクの正確なパターン化を可能にするために、レーザー投影ツールと統合されています。レーザー投影ツールは、ガルバノメーターを使用して動的な光学アライメントを行い、機械的振動と温度変化による誤差を補正します。これにより、マスクからマスクへのエラーなしで高精度なアライメントが保証されます。機械の自動パターニングエンジンは、高精度で幅広いフィーチャーサイズとレイアウトを生成する柔軟性を提供します。このツールには、画像ベクトルアライメントとディスプレイ用のCCDカメラ監視ツールが装備されています。これは、全体のプロセス中にパターンの状態をチェックするのに役立ちます。その外部アライメントレーザーの統合により、より正確なアライメントが可能になり、製造におけるより高い歩留まりを達成するのに役立ちます。マシンはまた、フォトマスクのレイアウトに機械的および光学的異常を考慮することにより、高度なオーバーレイ公差を提供します。統合プロセス管理ソフトウェアは、ジョブスケジューリングソフトウェアおよびCIMシステムとインタフェースするように設計されています。これはフォトマスク製造の自動化されたプロセスを作成するのに役立ち、資産のスループットを最適化するのに役立ちます。このモデルは、光学リソグラフィで使用する高品質のフォトマスクを製造するための信頼性の高いソリューションです。その高度な機能と強化された仕様により、あらゆるアプリケーションで正確な結果が得られます。Hybralign 200は、高解像度フォトマスク構造の製造に不可欠な高いプロセス制御と精度を提供します。