中古 OAI 806 #293589824 を販売中

OAI 806は、マイクロストラクチャーとマイクロメカニカルコンポーネントを大量に製造するために設計された自動マスクアライナーです。これは、複数の部品または部品を一度に製造するときに、生産の最適な解像度、精度、速度を達成するように特別に設計されています。806は、マルチポート反射ビームを使用してコンタクトマスクを製造する高度な投影リソグラフィ装置です。パターンアライメントシステムは、光学センサーを使用して2つのマスクを正確かつ自動的に調整します。また、プログラミングを簡単にするユーザーフレンドリーなグラフィックインターフェイスを備えています。さらに、アライナーには、統合されたレーザースキャンユニットとコンタクトマスク書き込み用の統合露光光学ヘッドがあります。OAI 806マスクアライナーを使用する利点は、高密度、3次元の微細構造およびコンポーネントを迅速に生成できることです。解像度は1ミクロン未満で、0。2ミクロン未満のエアギャップ厚などの特徴を生み出すことができます。さらに、マイクロストラクチャーやコンポーネントの結合など、複数の基板を正確かつ迅速に露出させ、アセンブリプロセスを自動化することができます。806 alignerはまた速いウェーハのローディングおよび荷を下すプロセスを利用します。このプロセスでは、ウェハチャックホルダーを2つの車輪付きカートに配置することで、簡単かつ迅速なウェハローディングとアンロードを可能にします。OAI 806はまた、高い露出精度と再現性を提供します。マスクアライナーは、エアアンプとエアダンパーを使用してショットの露出領域を制御し、光学系は露出プロセス中に正確な放出エネルギー要件を満たすように調整されます。最適なツールパフォーマンスを確保するために、806マスクアライナーには高度な自己診断機能が装備されています。オンボード診断は、asset抯のパフォーマンスを監視し、コンポーネントが故障した場合にユーザーに警告します。統合されたソフトウェアにより、モデルは常に効率的であることが保証されます。全体として、OAI 806マスクアライナーは堅牢で信頼性の高い自動マスクアライナーであり、コスト効率が高く大量生産が可能です。ミクロンまたはサブミクロン構造を必要とするアプリケーション、および迅速なウェーハのロードとアンロード、正確で反復可能な露出、および自動組立プロセスを必要とするアプリケーションに最適です。