中古 OAI 804 TSA #9311625 を販売中

OAI 804 TSAは、OAI （Opto-Automated Imaging）によって産業用リソグラフィープロセス用に開発されたマスクアライナーです。半導体製造に使用される高精度な装置で、フォトマスクのパターンを半導体ウェーハに正確に配置する役割を担っています。集積回路を生成するために必要なような小さな機能のパターンをウェーハに転送するのに特に便利です。804 TSAは光学系、マイクロステッパー、検出器の3つの部分から成っています。光学システムは設計を形作るのに使用されるフォトマスクから反射されるライトを受け取るために責任があります；また、入射光を線形と角形の2つの成分に分割します。フォトマスクに対するウェーハの位置を測定するために、角度成分が使用されます。リニアコンポーネントは、フォトマスクとウェーハ上のフィーチャー間の距離と角度を測定するために使用される検出器に光を集中させる役割を担っています。OAI 804 TSAの精度は、マイクロステッパーを使用してウェーハを正確な所定の位置に移動させることによって達成されます。マイクロステッパーは、サブナノメートルの精度でウェハの動きを制御する責任があります。これにより、CADファイルをウェハ上に正確に転送することができ、半導体チップの製造に使用することができます。804 TSAには、複数の露光時に画像アライメントを可能にする検出器が装備されています。この検出器は、静的配置と動的配置の両方に使用されます。静的アライメントは、レーザーを使用して単一の露出をすばやく調整します。ダイナミックアライメントでは、ビデオイメージングシステムを使用してマスク位置をリアルタイムで監視し、複数の露出がウェーハに正確に配置されていることを確認します。全体として、OAI 804 TSAは、半導体ウェーハに設計を正確に転送するために必要な産業用リソグラフィに不可欠なツールです。その正確なマイクロステッピングと検出器は、高精度の画像を転送することができ、最高レベルの製造精度を保証します。