中古 OAI 5008 #9155197 を販売中

OAI 5008は、次世代フォトリソグラフィ用途向けに設計された高精度マスクアライナーです。100mmから8インチ（200mm）基板まで幅広いウエハサイズに対応可能な光源とステッパー技術を使用したフルフィールドUV露光装置です。5008はウェーハへのフォトマスクの正確な露出を保障するために造られます。ステッパー位置決め精度を使用し、± 0。5 μ mの再現性を提供することにより、これを行います。このシステムは、0。2ミリジュールから20mJミリジュールまでの露光エネルギーの大きなダイナミックレンジと、広範囲の複数の露光オプションを提供します。レーザー干渉計で絶対アライメントを実現し、均一な露光品質を実現する輪郭照明光学ツールを搭載しています。さらに、最大精度1。5 μ mの自動ビジョンアライメントと、自動化されたアライメント最適化アルゴリズムを備えています。また、さまざまな制御システムを備えており、その性能を高めるための幅広い機能を提供しています。露出パラメータ制御、露出管理、モニタリング、パフォーマンスレポートなど、さまざまな機能を備えたプロセスコントロールソフトウェアを備えており、一貫した高性能を確保しています。さらに、APC （Advanced Process Control）モデルとStatistical Process Control （SPC）モジュールとReal-Time Optimary （RTO）モジュールを備えており、プロセスのパフォーマンスを正確に監視および向上させます。OAI 5008は、優れた精度、信頼性、一貫性を提供する最高級のマスクアライナーです。高精度な機能により、フォトリソグラフィ機器に最適です。このシステムは高度に構成可能であり、さまざまな種類のリソグラフィープロセスのニーズを満たすことができます。また、効率的であり、欠陥レベルが低い高スループットを提供します。