中古 OAI 400 #9024062 を販売中

OAI 400は、主流のフォトリソグラフィープロセスで使用される大規模なウェハスケールアライメント用に設計された光学自動アライメント装置です。400は、0。2ミクロンのレベルで高速かつ正確なアライメントを可能にする高精度の4倍反射ビームスプリッタと曲面ミラーを備えた統合設計を持っています。これにより、OAI 400 mmウェハスケールまでの大面積パターニングのための優れた自動ウェハレベルのアライメントが可能になります。光学式オートアライメントシステムは、主に400ヘッド、マスクステージ、ウェハステージ、コントローラで構成されています。OAI 400にはマスクとウェーハステージがあり、広い移動範囲があり、広い視野を提供し、正確で高精度な測定を完了します。コントローラは、ユニットのすべての動きを調整するために使用されます。アライメントヘッドは、さまざまなアプリケーションに対応するさまざまな構成で設定できます。このマシンは、ウェーハとマスク画像の異なる角度を同時にキャプチャする2つの独立したCCDカメラを備えています。アライメント精度に関しては、400はx-y平面で0。2ミクロンのレベルが印象的です。このマスクアライナーは、Z方向の正確な位置決めに5軸モーションコントローラを使用しています。OAI 400はまた、200ms/alignmentでマスクイメージとウェハイメージを自動的にアライメントできる高速アライメントアルゴリズムを備えています。高度な画像処理アルゴリズムと機能により、大型マスクのアラインメントに最適です。このツールは画像を迅速かつ正確に処理することができ、結果は簡単に解釈できます。さらに、400には、正確で信頼性の高いアライメントのための厳密に制御された環境を備えた統合校正アセットもあります。このキャリブレーションモデルは、さまざまなアプリケーション要件に応じてさまざまなパラメータを調整するために設定することができます。OAI 400は、高度なアライメントソフトウェアやレーザーアライメントなど、多くのDFMプロセスと互換性があります。また、真空環境で動作するように設計されています。全体的に400は、大面積パターニング用の信頼性と費用対効果の高いマスクアライナー装置です。使いやすく、0。2ミクロンの高精度なアライメントが可能で、高精度フォトリソグラフィープロセスでの使用に最適です。統合されたキャリブレーションシステムと高度な視覚処理アルゴリズムにより、解釈しやすい高速で信頼性の高い読み取りが可能です。また、真空環境で動作するように設計されており、レーザーアライメントでの使用に適しています。