中古 OAI 208S #9219993 を販売中

OAI 208Sは、チップ製造の過程で集積回路の回路トポロジーを作成するために、シリコンウェーハに所定のパターンを投影する産業用フォトリソグラフィ機械であるマスクアライナーです。208Sは、ウェーハに投影パターンを微細かつ正確に伝達する高精度機械です。OAI 208Sモデルは、レールの安定性と加工精度を向上させるデュアルステアリング装置を備えています。このモデルはまた、マスクパターンの角度歪みを補正する光整流システムを備えています。また、208Sには広いアライメントフィールドがあり、大きく複雑なデザインパターンをサポートしています。OAI 208Sは、HeNeガスレーザーを使用してウェーハ上のパターンを露出させるフルフィールドフォトリソグラフィ機です。機械の2つの軸は、マスクパターンの方向にプログラム可能であり、アライメントの精度を向上させます。ウェーハはチャック上に保持され、フィルターを通してレーザーからの紫外線にさらされます。ウェーハが光にさらされた後、焦点を合わせるために透明で液体の冷却窓が使用されます。このウィンドウは、露光プロセス全体の精度を維持するのに役立ちます。208Sには、精度を向上させるダイレクトイメージオーバーレイがあります。この機能は、チップのレイヤーごとに個別のマスクを作成する必要がないため、重要です。代わりに、1つのレイヤーのパターンが以前に露出したレイヤーと比較され、必要な調整が行われます。露光プロセスは、デジタル画像制御ユニット（DICS）を使用して自動化され、監視されます。ウエハを露出しながら、光量や露出パターンの調整が可能です。その後、データを保存および分析して、プロセスを繰り返すための一貫性のある結果を確保することができます。全体として、OAI 208Sは、同一の集積回路を迅速かつ効果的に生成するように設計された、高精度で信頼性の高いフォトリソグラフィーマシンです。シリコンウェーハ上に所定のパターンを素早く正確に投影することができ、さまざまな設計に合わせて調整することができます。このマスクアライナーは、同一回路を何度も何度も製造する信頼性の高い方法を提供します。